本标准规定了电子工业用氧的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧,以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二
氧化硅化学气相淀积,用作氧化源和生产高纯水的反应剂,用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
GB190 危险货物包装标志
GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则
GB/T3863 工业氧
GB5099 钢质无缝气瓶(GB5099-1994,neqISO4705:1993)
GB7144 气瓶颜色标志
GB/T8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法
GB14194 永久气体气瓶充装规定
GB/T14600 电子工业用气体 氧化亚氮
GB16912 深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规范
JB/T5905 真空多层绝热低温液体容器
JB/T6897 低温液体运输车
JB/T6898 低温液体贮运设备 使用安全规则
气瓶安全监察规程
压力容器安全技术监察规程
压力管道安全管理与监察规定
