本标准规定了电子工业用氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛,作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
GB190-2009 危险货物包装标志
GB/T3634.1 氢气 第1部分 工业氢
GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则
GB4962 氢气使用安全技术规程
GB5099 钢质无缝气瓶(GB5099-1994,neqISO4705:1993)
GB/T6285 气体中微量氧的测定 电化学法
GB7144 气瓶颜色标志
GB/T8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法
GB14194 永久气体气瓶充装规定
气瓶安全监察规程
压力容器安全技术监察规程
压力管道安全管理与监察规定