标准编号:	GB/T 18867-2014
中文名称:	电子工业用气体 六氟化硫
英文名称:	Gases for electronic industry—Sulphur hexaflouride
中标分类:	G86工业气体与化学气体
行业分类:	国家标准(GB)
ICS分类:	71.100.20工业气体
发布机构:	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:	2014-12-22
实施日期:	2015-07-01
标准状态:	现行
替代旧标准:	GB/T18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符数:	12000 字
翻译价格(元):	720 元
交付时间:	付款后 1-3工作日

本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。
本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。
分子式:SF6。
相对分子质量:146.0564192(按2007年国际相对原子质量计算)。

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