本标准定义了电子探针显微分析(EPMA)实践中使用的术语,包括一般概念的术语和按技术等级分类的具体概念的术语。
本标准适用于所有有关电子探针显微分析(EPMA)实践的标准化文件,部分适用于相关领域[例如:扫描电子显微镜(SEM),分析电子显微镜(AEM),X射线能谱仪等]的标准化文件,用于定义共用的术语。
电子探针显微分析（ＥＰＭＡ）是微束分析技术中一个应用极为广泛的领域，是在高技术产业、基础工
业、农业、冶金、地质、生物、医药卫生、环境保护、商检贸易乃至刑事法庭等行业中需要通过各种材料或
产品的微米尺度成分和结构分析来进行质量管理和质量检验所不可缺少的技术手段。
电子探针显微分析（ＥＰＭＡ）是一门综合性的技术，涉及物理、化学、电子学等广泛术语。本标准只
限于定义电子探针显微分析（ＥＰＭＡ）标准化实践中使用和直接有关的术语，其内容包括：
电子探针显微分析用一般术语定义；
描述电子探针显微分析仪器的术语定义；
用于电子探针显微分析方法的术语定义。
本标准是微束分析技术领域中为了适应电子探针显微分析（ＥＰＭＡ）标准化实践的基本需要而制定的第一个术语标准。扫描电子显微镜（ＳＥＭ），分析电子显微镜（ＡＥＭ），Ｘ 射线能谱仪（ＥＤＳ）等其他领域的术语标准也会相继制定。
