GB/T25915的本部分规定了洁净室设施的设计和建造要求,但并未规定满足那些要求所需的具体技术或契约手段。本部分还给出一份重要性能参数的目录,一并供洁净室设施的需方、供方和设计方使用。本部分给出包括启动和确认要求的建造指南。在考虑运行和维护的相关事项时,明确了保证持续、满意运行的设计和建造的基本要素。
注:有关上述要求的更多解释见附录A~附录H。GB/T25915的其他部分也给出了补充资料。
本部分的应用有如下限定:
———用户要求由需方或规定方提出;
———对洁净室设施内的具体工艺未做规定;
———对消防和安全未做专门规定,消防和安全方面应遵守适用的国家和地方法规;
———仅涉及了不同洁净度区域内及之间工艺介质和公用设施的路径;
———仅涉及了与洁净室建造有关的初始运行和维护的具体要求。
前言 Ⅰ
引言 Ⅱ
1 范围 1
2 引用标准 1
3 术语和定义 1
4 要求 2
5 规划和设计 3
6 建造和启动 4
7 检测和验收 4
8 文件 4
附录A (资料性附录) 控制和隔离的概念 7
附录B(资料性附录) 分级举例 13
附录C (资料性附录) 设施的验收 15
附录D (资料性附录) 设施的布局 18
附录E (资料性附录) 建造和材料 21
附录F(资料性附录) 洁净室的环境控制 25
附录G (资料性附录) 空气洁净度的控制 27
附录H (资料性附录) 待需方/用户与供方/设计方商定的补充技术要求 29
参考文献 37
