本标准规定了常规分析中一种评估X射线光电子能谱仪强度标的重复性和一致性的方法,采用非单色Al/Mg或单色AlX射线源。本标准只适用于装有溅射离子枪的仪器。本标准不做强度/能量响应函数的校准。此校准应由仪器制造厂家或其他合格机构完成。本标准提供的数据用于评估和确认仪器使用期间强度/能量响应函数保持恒定的准确度。本标准提供了一些可能会影响一致性的仪器设置指导意见。
前言 Ⅰ
引言 Ⅱ
1 范围 1
2 符号及缩略语 1
3 方法概述 1
4 评估强度标重复性和一致性的方法 3
4.1 获取参考样品 3
4.2 安装样品 3
4.3 清洁样品 3
4.4 选择测定强度稳定性的能谱仪参数设置 4
4.5 操作仪器 4
4.6 初始或后续的评估测量选项 4
4.7 测量强度和重复性 4
4.8 计算峰面积强度、强度比和不确定度 5
4.9 强度标一致性的常规评估方法 5
4.10 再次评估 7
附录A (资料性附录) 非单色MgKα X射线源的商品X射线光电子能谱仪强度重复性测量和计算实例 8
A.1 符号 8
A.2 商品X射线光电子能谱仪强度重复性测量和计算实例 8
参考文献 11
