标准编号:	GB/T 30656-2014
中文名称:	碳化硅单晶抛光片
英文名称:	Polished monocrystalline silicon carbide wafers
中标分类:	H83化合物半导体材料
行业分类:	国家标准(GB)
ICS分类:	29.045半导体材料
发布机构:	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:	2014-12-31
实施日期:	2015-09-01
标准状态:	现行
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符数:	16000 字
翻译价格(元):	960 元
交付时间:	付款后 1-3工作日

本标准规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书及订货单（或合同）内容。
本标准适用于4H及6H碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅单晶抛光片。产品主要用于制作半导体照明及电力电子器件的外延衬底。

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