标准编号:	GB/T 31058-2014
中文名称:	电子工业用气体 四氟化硅
英文名称:	Gases for electronic industry―Silicon tetrafluoride
中标分类:	G86工业气体与化学气体
行业分类:	国家标准(GB)
ICS分类:	71.100.20工业气体
发布机构:	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:	2014-12-22
实施日期:	2015-07-01
标准状态:	现行
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符数:	7000 字
翻译价格(元):	420 元
交付时间:	付款后 1工作日

本标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存等内容。
本标准适用于萤石硫酸法、六氟硅酸盐热分解法、单质硅直接氟化法制备的四氟化硅。它主要用作电子工业中等离子蚀刻、发光二极管 P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料,也是生产多晶硅的重要原料。
分子式:SiF4。
相对分子质量:104.0786128(按2009年国际原子相对质量)。

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