本标准规定了半导体材料切削液的各项技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、储存及运输等要求。
本标准适用于半导体材料线切割加工采用的切削液。
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GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T10247 粘度测量方法
GB/T11275 表面活性剂 含水量的测定
GB/T11446.1 电子级水
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